可实现高温法与化学法相结合的提纯工艺;
电阻炉采用顶立科技专属超高温、大电流引电技术,能在2600℃条件下长时间稳定使用;
电阻炉可采用多温区独立控温,温度均匀性好;
采用特殊的高温红外测量技术,控温准确,误差小;
采用感应加热形式,最高温度可达3300℃,适用于高温法提纯;
适于工艺气氛:真空/N2/Ar/工艺气体。
参数\型号 | VPF-0305 | VPF-0608 | VPF-0812 | VPF-1216 | VPF-1320 | VPF-1520 | VPF-161636 | VPF-171670 |
工作区尺寸 φ×H(mm) | 300×500 | 600×800 | 800×1200 | 1200×1600 | 1300×2000 | 1500×2000 | 1600×1600×3600 | 1700×1600×7000 |
最高温度(℃) | 2600/3000 | 2600/3000 | 2600/3000 | 2600/3000 | 2600/3000 | 3000 | 2600 | 2600 |
温度均匀性(℃) | ±10 | ±15 | ±15 | ±15 | ±20 | ±20 | ±20 | ±20 |
极限真空度(Pa) | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
压升率(Pa/h) | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
加热方式 | 感应 | 感应 | 感应 | 感应 | 感应 | 感应 | 电阻 | 电阻 |
以上参数可根据工艺要求进行调整,不作为验收依据,具体以技术方案和协议为准。
结构形式:上出料/下出料
炉门锁紧方式:手动/自动
炉壳材质:内层不锈钢/全不锈钢
保温材质:碳毡/石墨毡/碳纤维固化毡
加热器、马弗材质:石墨/CFC
热电偶:K/N/C/S分度号
红外仪:单比色/双比色
电源:KGPS/IGBT